日期:2014-11-02 02:06
Rg、玻面颜色ag、bg,膜面反射率Rf、膜面颜色af、bf,膜层面电阻,电导率,玻璃面色差DE。一般情况下,DT 1%、DRg 1%、Dag 0。8%、Dbg 0。8%、Dat 0。8%、Dbt 0。8%。双银Low-E镀膜玻璃的非膜面色差DE要满足现行*规定。
(2)设计膜层结构、配置靶材。在这个环节要明确各膜层所使用的靶材、各靶材的使用功率、工艺气体和反应气体配比。
(3)控制各单层膜的均匀性。监控各个单层膜厚度以nm为单位,其中,介质层横向厚度均匀性要在1。5%以内;金属层横向厚度均匀性要控制在1%以内。
(4)及时进行初调试环节和调