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氮气纯化设备_气纯化

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一、碳脱氧型高纯氮气纯化设备工艺原理:在碳载型催化剂作用下,氮气中的残氧和催化剂本身所提供的碳发生反应,而除去氮气中的氧。反应式为:C+O2=CO2适用范围:适用于高纯度氮气用户,特别适用于磁性材料、电子行业等对氧、氢有严格要求的工艺。氮气纯度:99.9995%(O2≤5PPm、CO2≤5PPm)处理气量:10~500Nm3/h原料氮气纯度:≥99.9%露水点≤-60℃~70℃产品氮气出口压力:0.1~0.6Mpa主要特点:1、稳定性好,氧含量在任何时候都能控制在5PPm以下;2、纯度高,氮气纯度在99.9995%时能保持长期稳定。3、可靠性好,按照IS09002国际标准进行制造。二、加氢脱氧型高纯氮气纯化设备工艺原理:加氢脱氧装置以普氮为原料。经加氢催化除氧、冷却、吸附干燥、再经过滤除去氨气中的杂质、水气和尘埃,获得高纯氮气。除氧原理:2H2+O2→2H2O+O↑主要特点:工艺先进------采用国内领先的高效脱氧催化剂。活性好。无需加热,活化再生。自动控制------西门子PLC控制,工作再生自动切换可选的质量流量控制器,自动加氢,比值控制。工作可靠------采用德国宝得气动阀,日本理化RKC温控仪。设计合理------全封闭的设计,结构紧凑、外型美观、占地面积少。技术指标:处理气量:10~500Nm3/h原料氮气纯度:≥99.5%.产品氨气纯度:99.9995%O2≤5ppmH2:微量露水点≤-60℃~70℃产品氮气出口压力:0.1~0.6Mpa三、超高纯气体纯化设备▲采用催化和化学吸附工艺联用,进行氮气纯化,也可用于氩气纯化。▲采用专利催化剂,纯化深度高,抗原料气波动能力强(200%)。非消耗型填料,使用寿命长。▲进口洁净管道、阀门,Swagelok全自动轨道焊,专利内加热抛光反应器,全面保证产品质量。▲集约化箱体包装,全自动运行。应用领域:▲高纯单晶硅、晶片外延、大规模集成电路、光电生产等电子行业气体终端纯化。▲气体行业超纯气体生产、分析零点气制备。▲钢铁、石化行业氮气纯化。

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联系人:时涛波

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