进口日本电子扫描电镜扫描电子显微镜JCM-7000_扫描电镜

进口日本电子扫描电镜扫描电子显微镜JCM-7000扫描电镜是用电子束作为激发源，利用电子束撞击样品的表面，产生各种讯号来进行影像观察丶成分分析等各种工作。当电子束撞击样品时会产生二次电子与背散电子，由於二次电子能量很低，只有50eV左右，因此只有样品表面约5~10nm范围所产生的讯号能够逃离样品表面，而被二次电子侦测器侦测到。因此二次电子讯号可以做为样品表面立体凹凸影像观察的来源。而电子束束班很小，可以到达奈米级别，因此扫描电子显微镜的解析度可以达到奈米级别以上。扫描电镜的讯号源与侦测讯号，是电子丶二次电子丶被散电子等讯号。这电子讯号在传输的过程中不能有其他介质的干扰，所以扫描电子显微镜必须在真空环境下才能工作。扫描电子显微镜的主要组成单元包括：真空系统丶电子枪与电子光学系统丶样品仓丶防震与控制系统丶电脑丶工作台等。另外还可以搭配EDS能谱丶WDS波谱等配件，进行成分分析的定性与定量工作。下面以简单的图温说明来介绍扫描电子显微镜的原理与仪器构造。扫描电镜的电子光学构造图：上图扫描电子显微镜与光学显微镜的构造比较，扫描电镜是以电子作为讯号源，来观察电子撞击样品後所产生的电子讯号。因此主要构造包括讯号源丶电子光学系统丶电子侦测器丶样品台等几个主要结构。电子束与样品作用产生的讯号”当电子束击中样品时，根据讯号产生的深度分别为：俄歇电子丶二次电子(5~10nm)丶背散射电子(50~200nm)丶透射电子。扫描电子显微镜的讯号来源为：二次电子与背散射电子。讯号产生深度越浅，成像分辨率越好。扫描电子显微镜主要功能有三：5~1,000,000倍影像观察丶真实影像尺规量测丶点-线-面成分分析。影观察方面，扫描电子显微镜涵盖了低倍率～高倍率的影像观察，更包括了二次电子像丶被散电子像丶成分像丶拓朴像等多种影像观察模式。且告种影像还能以任意比例进行叠图，方便对比使用。扫描电镜在成分分析方面主要有EDS能谱丶WDS波谱两种侦测器可以搭配。EDS能谱分析速度较快，元素检测极限约1000~2000ppm。WDS波谱分析速度较慢，但元素侦测极限较好，约在10~100ppm。EDS成分分析分析方法上面有三种模式可以选择。点分析：奈米范围内微小区域成分分析，可以帮助使用者做特定区域的分析。线扫描：可以观察扫描线段区域的成分变化。面扫描：可以观察各成分的2D分布状况。在微观尺度下，许多尺规量测都是间接式的，扫描电微镜可以提供直接影像尺规量测，搭配适当的尺规量测标准件，量测结果具有相得的参考价值。

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